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簡(jiǎn)要描述：Sxxx.Z.C，壓電升降掃描臺(tái)，Z軸掃描運(yùn)動(dòng) 緊湊型 “S 系列“ 標(biāo)準(zhǔn)版系，Z 方向大行程
產(chǎn)品型號(hào)：Sxxx.Z.C廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-12-12訪 問(wèn) 量：3033相關(guān)文章
ARTICLES詳細(xì)介紹
壓電·單維掃描運(yùn)動(dòng) Sxxx.Z.C
? 緊湊型單軸Z軸方向運(yùn)動(dòng)，電容位置閉環(huán)控制
• Z 方向運(yùn)動(dòng)范圍 100-300 um；
• 外形尺寸，40 mm x 40 mm x 18 mm；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于1 nm (開(kāi)環(huán)版本可選)；
• 最大負(fù)載 500 g；
• 支持無(wú)磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；
壓電升降掃描臺(tái)，Z軸掃描運(yùn)動(dòng)——詳細(xì)參數(shù)：
壓電升降掃描臺(tái)，Z軸掃描運(yùn)動(dòng)——尺寸圖：
多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·緊湊型"解決方案主要包含：
S —— 掃描標(biāo)準(zhǔn)系列；
SD —— 高動(dòng)態(tài)系列；
SH —— 高負(fù)載系列。
S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運(yùn)動(dòng)、Z軸單維度運(yùn)動(dòng)、XY軸雙維度運(yùn)動(dòng)和XYZ軸三維度運(yùn)動(dòng)等應(yīng)用場(chǎng)景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無(wú)磁/高真空/超高真空選件升級(jí)。
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